Point d'origine
Henan, China
Classification
Equipement de chauffage pour laboratoires
Numéro de Type
TN-PE-HPCVD
Haute pureté tube de quartz
50mm DIA.
Température de fonctionnement
0 ~ 1100 ℃
Système de sortie RF
0 ~ 500W réglable, 13.56MHz + 0.005%
Bateau d'évaporation
De tungstène fil panier, en option conique alumine creuset
Thermocouple
S type thermocouple
Quatre-canal débitmètre massique
MFC1: 0 ~ 200sccm MFC2 : 0 ~ 200sccm MFC3: 0 ~ 500sccm MFC4 : 0 ~ 500sccm
Contrôle de flux
LCD tactile écran de contrôle, affichage numérique
Vide système
Pompe moléculaire: 600L/S pompe à palettes: 1.1L/S
Vide mesure
Composé jauge à vide