Type
Dépôt chimique en phase vapeur
Type de Machine
Dépôt chimique en phase vapeur
Vidéo sortant d'inspection
Fourni
Machines Rapport D'essai
Fourni
Marketing Type
Produit chaud 2019
Garantie des éléments de base
1 AN
Composants de base
Pompe, Puissance RF
Point d'origine
Henan, China
Clé Vente Points
Concurrentiel Prix
Industries applicables
Laboratoire
Showroom Emplacement
Aucun
Enduit
Métallisation sous vide
Dimension (L*W*H)
1100mm * 800mm * 1100mm
Nom du produit
PECVD revêtement sous vide machine
Application
Le dépôt mince films de nitrure de silicium, amorphe de silicium
Chambre matériel
En acier inoxydable
Chambre taille
Diam300mm X 300mm
Fenêtre de visualisation
Diam100mm avec chicane
Pompe à vide
Pompe à palettes + Turbo moléculaire pompe
Vide (dépôts)
0.133 ~ 133Pa
Puissance RF
13.56MHz,500W (automatch)
Contrôle de flux
Débitmètre massique (par défaut Ar,0 ~ 200sccm)
Après-vente Service Fourni
Vidéo support technique, Support en ligne
Après Garantie de Service
Vidéo support technique, Support en ligne
Service Local Emplacement
Aucun