Type de Machine
Coating equipment
Vidéo sortant d'inspection
Fourni
Machines Rapport D'essai
Fourni
Marketing Type
Nouveau produit 2020
Garantie des éléments de base
1 AN
Composants de base
PLC, Moteur, Roulement, Moteur, Récipient sous pression, Pompe
Clé Vente Points
Haute-précision
Industries applicables
Usine de fabrication, Travaux de Construction, L'énergie et L'exploitation Minière
Showroom Emplacement
Aucun
Enduit
Dépôt chimique en phase vapeur
Dimension (L*W*H)
1100mm x 800mm x1100mm
Vacuum chamber
stainless steel
Front stage pump
rotary vane pump pumping speed is 1.1L/s
Secondary pump
Turbo molecular pump pumping speed 600L/s
Vacuum(deposition)
0.133~133Pa,adjusted according to the process
RF power
13.56MHz,500W (automatch)
Flow control
mass flowmeter(default Ar,0~200sccm)