Support personnalisé
OEM, ODM
Matériel
Acier inoxydable/silicium/nitrure de silicium, etc
Précision
0,3% F.S. (≤ 30% F.S.) / 1,0% S.P. (> 0,3% F.S.)
Exigences en matière de gaz
Gaz propre, sec et non corrosif
Gaz
Air, N2,Ar,CO2,He, H2,CH4, O2 et ainsi de suite
Plage de débit
(0 ~ 10, 100, 200, 300, 500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10,20) SLM
Ratio de retournement
100:1
Intégrité de la fuite, hors-bord
1x10-9 Pa m3/s Il
Température de fonctionnement
0 ~ 50 ℃
Humidité de fonctionnement
10% ~ 90% HR (pas congelé et condensation)
Alimentation électrique
DC24V, ondulation ≤ 50mV