Type

ZHD450 A

ZHD450 B

ZHD450 C

Méthode d'enduit

Enduit d'évaporation de résistance

Enduit d'évaporation de faisceau d'électrons de résistance/

Évaporation de résistance + pulvérisation de magnétron

Types de film

Films organiques ou films etc. en métal.

Films multicouche, divers films de filtre, films de réflexion, films de transmission ? etc.

Films simples de substance, films de semi-conducteur, films organiques, films d'oxyde, films de réaction, films diélectriques, films de semi-conducteur, dispositifs d'OLED, etc.

Alimentation d'énergie

Alimentation d'énergie d'Evapourate

Alimentation d'énergie d'Evapourate, alimentation d'énergie de canon électronique

Alimentation d'énergie d'Evapourate, alimentation d'énergie d'impulsion

Électrodes et cibles

électrodes

électrodes, e-type canon électronique

électrodes, cible de pulvérisation de magnétron d'avion circulaire

Commande de vide

Manuel disponible/commande de PLC/PLC+HMI (facultative)

Dimension du puits à dépression

Φ450×H500 millimètre

Puits à dépression

Pré-ouvrez les structures verticales, systèmes de pompage de Postposition, manuels pousser-et-tirent la façon

Pompes de vide

Pompe moléculaire/diffusion + pompe mécanique

Vitesse de pompage

Pompant time≤20 minute (minute) moléculaire de pompe/50 (pompe de diffusion), de pression atmosphérique à 10-3Pa

Uniformité de film

Les fluctuations de l'épaisseur de film sont moins de 5%

Structure des électrodes

Électrodes de refroidissement par eau

Température de cuisson de l'objet

Réglable et contrôlable de la température ambiante au °C 300 (contrôle de température de PID)

Mouvement de l'objet

0-20 t/mn réglables et révolution/rotation stepless contrôlables de changement de vitesse

Mesure de vide

Deux mesures de vide composées numériques

Protection

L'alarme et la protection automatique fonctionnent pour l'épuisement de l'eau, écoulement anormal, au-dessus de circuler courant, sur la tension, et l'arrêt électrique, etc.

Paramètres de base

Kilowatt Power≥12 ; Secteur servi : 12 m2 ; Poids : ~1200 kilogrammes

Dispositifs facultatifs

Moniteur d'épaisseur de film d'oscillateur de quartz, refroidissement par l'eau et réutilisation de la machine