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Machine de vide----Série de TEMD de machine d'enduit optique d'électron-faisceau

  • Nom de marque: TECHNOL
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Dispositifs et caractéristiques de Machine de vide----Série de TEMD de machine d'enduit optique d'électron-faisceau

machine de vide -------La série de TEMD de machine d'enduit optique d'électron-faisceau est principalement pour le multi-enduit, produisant le filtre, film r3fléchissant, film de transmission. Selon la nécessité d'augmenter ou améliorer la distribution des éléments choisis tels que des pompes de vide, pompes cryogéniques ; Attribution de piège à basse température de puits à dépression ; commande d'épaisseur utilisant le contrôleur d'épaisseur de cristal de quartz ; sources ion-aidées de dépôt, telles que le bombardement de rf. Matières premières sans restriction d'évaporation de faisceau d'électrons : évaporation, et gamme d'ajustement de taux d'évaporation de faisceau d'électrons de densité de puissance élevée : utilisation de la fonte de creuset d'évaporation de l'eau ou les matériaux partiels d'évaporation, matériaux d'emballage pour éviter les matériaux d'évaporation et de dépôt et le matériau d'emballage, la réaction entre d'une grande les films pureté. Appliquez-vous aux instituts de recherche scientifique et aux entreprises de la production optique de la couche mince.

Dactylographiez

TEMD-550

TEMD-650

TEMD-800

Dimension du puits à dépression

Φ550×H600 millimètre

Φ650×H700 millimètre

Φ800×H800 millimètre

Le vide atteint le plus élevé

PA 6×10-5

Vitesse de pompage

Minute time≤20 de pompage, de pression atmosphérique à 2×10-3Pa

Source d'évaporation

Puissance du canon électronique

6 KILOWATTS

Volume du creuset

trou 20 ml×4

Puissance de l'évaporation de résistance

2.5 KILOWATTS

Électrodes de refroidissement par l'eau

Deux paires (évaporez-vous alternativement)

Température de cuisson

°C 300 (dispositifs de chauffage tubulaires)

Maquillage du système de vide

Système de pompe moléculaire de 1600 L/S

Système de pompe moléculaire de 1600 L/S

Système de pompe de la diffusion K-600

Mesure d'épaisseur de film

Moniteur d'épaisseur de film d'oscillateur de quartz

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Machine d'enduit-----Dispositif d'essai de plasma de décharge gazeuse DFQ-400
Machine d'enduit-----Dispositif d'essai de plasma de décharge gazeuse DFQ-400 principalement par le puits à dépression de dispositif d'essai de plasma de décharge gazeuse
JCP-450D a focalisé le magnétron pulvérisant, PCVD, machine d'enduit de PECVD
Le magnétron focalisé par JCP-450D pulvérisant est un équipement multifonctionnel d'enduit (de type non standard).
machine de métallisation sous vide-----Équipement de série de pulvérisation du magnétron JCP450
machine de métallisation sous vide-----Équipement de série de pulvérisation du magnétron JCP450, la série principale de C.C/de puls bipolaires dissymétriques
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Machine de métallisation sous vide de VTHK -350 appliquée pour continuer le traitement thermique dans un environnement de vide poussé, appliqué à l'acier de silicium,
Machine de métallisation sous vide-----Machine de métallisation sous vide TSU-800
Machine de métallisation sous vide-----La machine de métallisation sous vide TSU-800 est magnétron réglé pulvérisant, dépôt de plasma de multi-arc
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machine de vide---Fonction principale de dépôt en phase vapeur de machines d'enduit d'évaporation de la résistance ZHD-450, laboratoire de simple-préparation.
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Machine de métallisation sous vide------La machine de métallisation sous vide PECVD-450 est équipement de déposition en phase vapeur de plasma, principalement utilisé dans SiO2
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Machine d'enduit----Machine d'enduit de pulvérisation du magnétron JCP-1200
Machine d'enduit----La machine multicible de pulvérisation du magnétron JCP1200 est enduit de film de pulvérisation de magnétron

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