Appellation

Série d'émetteurs de vide très poussé de JGMR

Chambre de vide poussé

Φ200mm×L300mm

Chambre de vide très poussé

Φ200mm×L450mm

Structure d'électrode

Cathode, l'ensemble d'anode

poteau magnétique de transmission

Φ25mm×L1100mm

Pression de culot (chambre de vide poussé.)

8×10-5Pa

Pression de culot (puits à dépression final.)

8×10-8Pa

Structure de puits à dépression

Pompe moléculaire + pompe condensat + pompes mécaniques

Vitesse de pompage

inférieur ou égal à 20min de l'air à 10-3Pa

Commande de vide

Commande manuelle de /Automatic

commande de gaz

3 ensembles de système de contrôle de gaz, ± 0.1sccm d'exactitude du contrôle de flux de gaz 5L/3L/2L.

protection

L'équipement est conduit, sous le tassement, écoulement, dispositifs de protection de surtension

Paramètres techniques de base

power≥20KW, area6m2

Dispositifs d'option

La source d'ions de Hall de dispositifs d'épaisseur d'oscillateur de quartz, et les machines d'eau en circulation pompent, PLC, commande de PC, l'anti-blanchissage de la pulvérisation