Type

TZB450A

TZB450B

TZB450C

Méthode d'enduit

Enduit d'évaporation de résistance + boîte à gants

Enduit de pulvérisation de magnétron + boîte à gants

Évaporation + magnétron de résistance pulvérisant + boîte à gants

Types de film

Substance simple, films composés d'oxydes, de diélectriques, de semi-conducteur, etc.

Films en métal/non-métal, etc.

Films de substance simple, films de semi-conducteur, films organiques, films d'oxyde, films de réaction, films diélectriques, films de supraconducteur, films de métal céramique, films optiques, etc.

Alimentation d'énergie

Alimentation d'énergie d'Evapourate

Alimentation d'énergie de DC/Bipolar pulse/RF

evapourate/alimentation d'énergie bipolaire d'impulsion

Électrodes et cibles

électrodes

Plusieurs cibles de pulvérisation de magnétron

électrodes, cible de pulvérisation de magnétron

Dimension du puits à dépression

Φ450×H400 millimètre

Structure du puits à dépression

Pré-ouvrez les structures verticales, systèmes de pompage de Postposition, manuels pousser-et-tirent la façon

Le vide atteint le plus élevé

6. PA 6×10-5

Pompes de vide

Pompe moléculaire + pompe mécanique

Vitesse de pompage

Pompant time≤20 minute (minute) moléculaire de pompe/50 (pompe de diffusion), de pression atmosphérique à 10-3Pa

Uniformité de film

Les fluctuations de l'épaisseur de film sont moins de 5%

Structure des électrodes

électrodes

Pulvérisation de magnétron

alimentation d'énergie d'impulsion + targets× magnétique permanent 1-3

Température de cuisson de l'objet

Réglable et contrôlable de la température ambiante au °C 300 (contrôle de température de PID)

Mouvement de l'objet

0-20 t/mn réglables et révolution/rotation stepless contrôlables de changement de vitesse

Commande de vide

Commande manuelle

Mesure de vide

Bas-haut × composé numérique 2 de mesure de vide

Commande de vide

Manuel/commande de PLC/PLC + de HMI

Protection

L'alarme et la protection automatique fonctionnent pour l'épuisement de l'eau, écoulement anormal, au-dessus de circuler courant, sur la tension, et l'arrêt électrique, etc.

Paramètres de base

Kilowatt Power≥12 ; Secteur servi : 9 m2 ; Poids : ~800 kilogrammes

Dispositifs facultatifs

Moniteur d'épaisseur de film d'oscillateur de quartz, source d'ions de Hall, refroidissement par l'eau et réutilisation de la machine, nettoyage d'Anti-pulvérisation, machine de compression d'air