Dispositif monocristallin et multi- de lingots de silicium :
pureté : 6N, 8N ci-dessus
Cristalinité | Cristallin mono |
Dimension (millimètre) W | 125×125±0.5 |
Dimension (millimètre) L | 80-350 |
Diamètre (millimètre) | 150×150±0.5 |
Épaisseur (UM) | 200±20 |
TTV (UM) | ≤20 |
Type/dopant de distributeur | P /Boron |
Orientation | <100>±3° |
Angle rectangulaire | 90± 0.5 |
Résistivité | 0.5-6 ohm. cm |
Vie | ≥10 nous |
Concentration en oxygène | ≤1.0×1018 |
Concentration en carbone | ≤5×1016 |
China
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