Type

ZHD230 A

ZHD230 B

ZHD230 C

Pompes de vide

Pompe de diffusion + pompe mécanique

Pompe moléculaire + pompe mécanique

Pompe de diffusion + pompe mécanique

Le vide atteint le plus élevé

6. 6 ×10-4Pa

6. PA 6 ×10-5

6. PA 6 ×10-4

Alimentation d'énergie

2 KILOWATTS

Structure des électrodes

Une paire d'électrodes d'évaporation

Une paire d'électrodes d'évaporation

Une paire d'électrodes d'évaporation, costume d'A d'équipement de carbone-pulvérisation

Types de film

Metal les films, les films d'oxyde, les films diélectriques, les films de semi-conducteur, les films organiques, etc.

Électrodes d'évaporation

une paire d'électrodes de refroidissement par eau

Chambre d'enduit

Dimension : 230×H300 millimètre ; Matériel : couverture en verre ; Structure de haut en bas

Vitesse de pompage

Pompant time≤20 minute (minute) moléculaire de pompe/30 (pompe de diffusion), de pression atmosphérique à 10-3Pa

Uniformité de film

Les fluctuations de l'épaisseur de film sont moins de 5%

Mesure de vide

Bas-haut × composé numérique 1 de mesure de vide, de pression atmosphérique à la PA 10-5

Commande de vide

Commande manuelle

Appui témoin

Φ80100 millimètre, place sur le dessus de la chambre

Protection

L'alarme et la protection automatique fonctionnent pour l'épuisement de l'eau, écoulement anormal, au-dessus de circuler courant, sur la tension, et l'arrêt électrique, etc.

Paramètres de base

Kilowatt Power≥5 ; Secteur servi : 5 m2

Milieu de travail et états

Dispositifs facultatifs

Refroidissement par l'eau et réutilisation de la machine